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日本要慌了?中国首条100%自主可控的,高端光刻胶生产线投产

来源:丹巴新文网
日本要慌了?中国首条100%自主可控的,高端光刻胶生产线投产

芯片制造行业里头,光刻胶和光刻机是绑定的关系,这一点众所周知。光刻机把光线投射到涂抹了光刻胶的硅晶圆上,通过光学化学反应,把芯片电路图印在硅晶圆上,最后制成芯片。光刻机使用的光线种类,就要看光刻胶的类别了,两者不能混用,而且光刻胶的质量好坏,直接关系到芯片的合格率。正因为如此,光刻胶也分G线/I线,KrF、ArF、ArFi、EUV这些种类的,跟光刻机的分类基本一致,在实际应用中,也大多是一一对应,不同种类之间是不能随意替换的。

在所有的光刻胶类型中,日本占据绝对主导地位,全球市场份额高达80%,而且越是高端的光刻胶,日本的市场占有率越高,比如说EUV光刻胶,现在也只有日本的企业能够生产。中国在光刻胶国产化方面,进展缓慢,预计到2025年,整体国产化率大约能达到28%。不过,越是高端的光刻胶,国产化率越低。具体来看,如下图所示,在最低端的G线I线光刻胶上,国产化率有65%,但在高端的浸润式ArFi光刻胶上,国产化率还不到3%,EUV光刻胶的国产化率为零。

需要特别指出的是,即便国产化率达到28%,国内确实能够生产一些相对先进的ArF、ArFi光刻胶,但这些生产线上的设备和原料,大部分还是依赖进口,也就是说,并没有实现完全的自主生产。因此,长期以来,大家都在期待国产光刻胶能够实现全流程的100%自主可控,从原料采购到设备制造,再到生产制备,全部由国内完成,这样才能真正解决被“卡脖子”的问题。

现在,终于有一家企业实现了全流程自主光刻胶产线,做到了“有机合成—高分子合成—精制纯化—光刻胶混配”全链条自主制备。这家企业就是鼎龙股份,他们近日正式宣布了这一重大突破,并表示这是国内首条全流程自主的高端光刻胶产线,从原料到设备,再到生产制备,全部实现自主可控,彻底摆脱了依赖进口的风险。

鼎龙股份的这条生产线产能高达330吨每年,产品纯度达到了99.999%,也是国内单体规模最大的高端光刻胶产线,能够满足3-5条12英寸晶圆产线的全年需求。这条生产线可以制造KrF/ArF高端光刻胶,目前已经能覆盖90nm至28nm的制程节点,未来还计划覆盖14nm等更先进的工艺节点。

这个消息一出,恐怕日本企业会感到十分焦虑。一直以来,日本在这一领域都占据垄断地位,他们凭借着光刻胶的垄断优势,不仅控制国内市场,还对全球市场进行制裁,甚至威胁要断供光刻胶。但如今,中国企业实现了自主可控并取得了突破,那么凭借中国制造的优势,未来中国企业的产能一定会不断提高,产品质量也会越来越好,同时成本也会降低,这样的话,在全球市场上的份额一定会越来越大。到那时候,日本企业该如何应对呢?

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